蒸汽流擴(kuò)散泵可根據(jù)工作液不同；結(jié)構(gòu)材料不同和結(jié)構(gòu)形式不同分類(lèi)。
按擴(kuò)散泵的工作液分類(lèi)有汞擴(kuò)散泵和油擴(kuò)散泵兩種。汞對(duì)人體有害，而且汞的飽和蒸氣壓高，即使加冷凝器它的極限真空也比不上油擴(kuò)散泵。因此目前大量使用的是油擴(kuò)散泵，汞擴(kuò)散泵僅用于被抽容器中存在汞蒸氣的特殊情況(如熒光燈的排氣系統(tǒng)中)。
按擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)材料分類(lèi)有金屬擴(kuò)散泵和玻璃擴(kuò)散泵兩種。玻璃擴(kuò)散泵抽速較小，最大每秒僅有幾百升。但是玻璃擴(kuò)散泵制造簡(jiǎn)單，泵體本身以及與真空系統(tǒng)連接的地方都有可靠的氣密性，還有玻璃的透明性，可以用眼睛直接觀察擴(kuò)散泵的工作狀態(tài)，所以在電光源生產(chǎn)上有著廣泛的應(yīng)用。金屬擴(kuò)散泵的抽速可以做得小，也可以制得較大，最大可達(dá)每秒十多萬(wàn)升。
按結(jié)構(gòu)形式分類(lèi)有立式泵和臥式泵；單級(jí)泵和多級(jí)泵。目前使用最多的是三級(jí)和四級(jí)立式擴(kuò)散泵。
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